G4系列高精度旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)應(yīng)用于在平面基板上高精度的液體材料涂敷，象光刻膠、聚酰亞胺、金屬有機(jī)化合物、攙雜劑、硅質(zhì)薄膜等。G4旋轉(zhuǎn)涂敷機(jī)系統(tǒng)在操作精度和編程靈活性方面采用了新的標(biāo)準(zhǔn)，具有很高的旋轉(zhuǎn)精度和重復(fù)精度，擁有精度極高的加速/減速控制。