光掩模與光柵檢測(cè)設(shè)備

INREMA專為滿足當(dāng)前及未來(lái)成熟光掩模檢測(cè)需求而設(shè)計(jì)，具備完整的芯片到數(shù)據(jù)庫(kù)（D2DB）檢測(cè)能力和顆粒檢測(cè)功能。

支持透射式與反射式（T/R）照明系統(tǒng)，兼容4英寸至14英寸（含特殊規(guī)格如6×12英寸、8×10英寸）的掩模尺寸。

INREMA的無(wú)耗材設(shè)計(jì)高度契合高通量、快速周轉(zhuǎn)及成本敏感型掩膜生產(chǎn)需求，可實(shí)現(xiàn)全天候連續(xù)運(yùn)行且運(yùn)行成本極低。

INREMA的空氣軸承運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)與無(wú)污染架構(gòu)專為ISO3級(jí)及更高等級(jí)潔凈室環(huán)境優(yōu)化設(shè)計(jì)。