其高精度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)采用花崗巖基座設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)卓越的振動(dòng)隔離及熱動(dòng)穩(wěn)定性。模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在成像系統(tǒng)、照明配置及傳感器參數(shù)設(shè)置方面具有高度靈活性，可選配共聚焦傳感器以實(shí)現(xiàn)精確的高度與厚度測量。

多孔石材真空巢確保即使對(duì)厚度低至10 μm 的超薄基板也能實(shí)現(xiàn)高精度和可重復(fù)性，而玻璃制品專用巢適配器可支持TGV應(yīng)用中515×510mm的最大尺寸。該系統(tǒng)特別適用于工藝驗(yàn)證、質(zhì)量保證及研發(fā)環(huán)境。